ПІДВИЩЕННЯ МІКРОТВЕРДОСТІ ТА ЗНОСОСТІЙКОСТІ ПОВЕРХОНЬ ЕЛЕМЕНТІВ ВИРОБІВ З ОПТИЧНОГО СКЛА МІКРООБРОБКОЮ  ЕЛЕКТРОННИМ ПОТОКОМ У ВАКУУМІ

Віктор Степанович Антонюк; Юрій Іванович Коваленко; Юлія Юріївна Бондаренко; Максим Олексійович Бондаренко

doi:10.26642/tn-2015-1(72)-3-9

Автор(и)

Віктор Степанович Антонюк Національний технічний університет України «КПІ», Україна
Юрій Іванович Коваленко Черкаський державний технологічний університет, Україна
Юлія Юріївна Бондаренко Черкаський державний технологічний університет, Україна
Максим Олексійович Бондаренко Черкаський державний технологічний університет, Україна

DOI:

https://doi.org/10.26642/tn-2015-1(72)-3-9

Ключові слова:

оптичне скло, електронно-променева мікрообробка, мікротвердість, зносостійкість, атомно-силова мікроскопія.

Анотація

Показана можливість низькоенергетичної електронно-променевої мікрообробки поверхонь оптичного скла К8, що призводить до покращання їх техніко-експлуатаційних характеристик (мікротвердості та зносостійкості). Запропоновані оптимальні режими електронно-променевої мікрообробки: питома потужність електронного потоку Р_пит = 3,5^.10³Вт/м²; струм електронного потоку І_f = 36 мА; час електронної дії t = 1,2^.10^-6 с. Встановлене збільшення мікротвердості оптичних поверхонь, оброблених запропонованим методом низькоенергетичної електронно-променевої мікрообробки, у 2,5…3,5 раза, а зносостійкості – у 1,23…1,27 раза.

Посилання

Канашевич Г.В. Доцільність впровадження мікрооптичного виробництва в Україні / Г.В. Канашевич, М.О. Бондаренко, А.К.М. Рукон // Матер. VI Міжнар. науково-практ. конф. «Теорія і практика сучасної економіки». – Черкаси : ЧДТУ, 2005. – С. 234–237.

Исследование процесса формообразования стеклянных шариков для микрооптики по высокоэффективной технологии / А.А. Сухоцкий и др. // Оптический журнал. – 2002. – Т. 69, № 6.

Канашевич Г.В. Термічна електронно-променева обробка скляних плат оптичних інтегральних схем / Г.В. Канашевич // Деп. в НИИ ТЭХИМ. – Черкассы, 2002. – 168 с.

Канашевич Г.В. Спеціальні методи обробки оптичного скла / Г.В. Канашевич, Д.І. Котельніков, В.А. Ващенко ; за ред. проф. Д.І. Котельникова. – Чернігів : Сіверська думка, 2002. – 215 с.

Канашевич Г.В. Перспективи використання електронного променя в технологіях інтегральної оптики / Г.В. Канашевич, В.А. Ващенко, М.О. Бондаренко // Вісник Черкаського держ. технол. ін-ту. – 2000. – № 2. – С. 189–193.

Исследование металлизированных поверхностей модифицированных ленточным электронным потоком / Ю.И. Коваленко и др. // Вісник НТУУ «КПІ». – 2012. – № 64. – 4 с.

Antonyuk V.S. Studies of thin wear-resistant carbon coatings and structures formed by thermal evaporation in a vacuum on piezoceramic materials / V.S. Antonyuk, M.O. Bondarenko, Yu.Yu. Bondarenko // Journal of superhard materials. – 2012. – Vol. 34, № 4. – Pp. 248–255.

Бондаренко М.О. Дослідження тонких зносостійких вуглецевих покриттів і структур сформованих термічним випаровуванням у вакуумі на п’єзокерамічних матеріалах / М.О. Бондаренко, В.С. Антонюк, Ю.Ю. Бондаренко // Сверхтвердые материалы. – 2012. – Вып. 4. – С. 45–55.

Канашевич Г.В. Структурні перетворення у поверхневому шарі оптичного скла та фотопластинах від дії низькоенергетичного електронного потоку / Г.В. Канашевич, Г.М. Дубровська, М.О. Бондаренко // Матер. научно-техн. конф. (2–4 черв. 2004 р., м. Одеса). – С. 60–64.