МАТЕМАТИЧНЕ МОДЕЛЮВАННЯ РОЗПОДІЛУ ЛЕТУЧОЇ ДОМІШКИ У ПРОЦЕСІ ВИРОЩУВАННЯ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ

Автор(и)

  • Юрій Вікторович Головко Запорізька державна інженерна академія, Ukraine
  • Євген Якович Швець Запорізька державна інженерна академія, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.26642/tn-2008-4(47)-131-133

Анотація

Розроблено математичну модель розподілу летучої домішки фосфору в процесі вирощування монокристалів кремнію за методом Чохральського, яка враховує зміну технологічних параметрів протягом процесу вирощування, які впливають на цей розподіл. Модель розв'язано відносно ефективного коефіцієнта розподілу та швидкості випаровування атомів фосфору з поверхні розплаву кремнію.

##submission.downloads##

Опубліковано

2016-10-12

Як цитувати

Головко, Ю. В., & Швець, Є. Я. (2016). МАТЕМАТИЧНЕ МОДЕЛЮВАННЯ РОЗПОДІЛУ ЛЕТУЧОЇ ДОМІШКИ У ПРОЦЕСІ ВИРОЩУВАННЯ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ. Вісник ЖДТУ. Серія "Технічні науки", (4(47), 131–133. https://doi.org/10.26642/tn-2008-4(47)-131-133

Номер

№ 4(47) (2008)

Розділ

Інформатика

Ліцензія

Авторське право (c) 2020 Юрій Вікторович Головко, Євген Якович Швець

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Автор, який подає матеріали до друку, зберігає за собою всі авторські права та надає відповідному виданню право першої публікації, дозволяючи розповсюджувати даний матеріал із зазначенням авторства та джерела первинної публікації, а також погоджується на розміщення її електронної версії на сайті Національної бібліотеки ім. В.І. Вернадського та у відкритому доступі в електронному архіві університету та на сайті журналу.