МАТЕМАТИЧНЕ МОДЕЛЮВАННЯ РОЗПОДІЛУ ЛЕТУЧОЇ ДОМІШКИ У ПРОЦЕСІ ВИРОЩУВАННЯ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ

Автор(и)

  • Юрій Вікторович Головко Запорізька державна інженерна академія, Україна
  • Євген Якович Швець Запорізька державна інженерна академія, Україна

DOI:

https://doi.org/10.26642/tn-2008-4(47)-131-133

Анотація

Розроблено математичну модель розподілу летучої домішки фосфору в процесі вирощування монокристалів кремнію за методом Чохральського, яка враховує зміну технологічних параметрів протягом процесу вирощування, які впливають на цей розподіл. Модель розв'язано відносно ефективного коефіцієнта розподілу та швидкості випаровування атомів фосфору з поверхні розплаву кремнію.

##submission.downloads##

Опубліковано

2016-10-12

Як цитувати

Головко, Ю. В., & Швець, Є. Я. (2016). МАТЕМАТИЧНЕ МОДЕЛЮВАННЯ РОЗПОДІЛУ ЛЕТУЧОЇ ДОМІШКИ У ПРОЦЕСІ ВИРОЩУВАННЯ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ. Вісник ЖДТУ. Серія "Технічні науки", (4(47), 131–133. https://doi.org/10.26642/tn-2008-4(47)-131-133

Номер

Розділ

Інформатика